Скачать ГОСТ 25662-83 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные диффузионные. Методы испытаний

0
265

Дата актуализации: 25.08.2020

ГОСТ 25662-83

Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные диффузионные. Методы испытаний

Скачать ГОСТ

Статус документа: действует
Название рус.: Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные диффузионные. Методы испытаний
Название англ.: Vacuum equipment. Diffusion vacuum pumps. Test methods
Дата актуализации текста: 06.04.2015
Дата актуализации описания: 25.08.2020
Дата издания: 01.06.1984
Дата введения: 01.01.1984
Дата последнего изменения: 01.01.2020
Переиздание: переиздание с изм. 1
Область применения нормативного документа: Настоящий стандарт распространяется на диффузионные вакуумные насосы с водяным охлаждением, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, предназначенные для откачивания из герметичных объемов воздуха, газов и парогазовых смесей, предварительно очищенных от капельной влаги и механических загрязнений и неагрессивных к материалам конструкций
Список изменений в документе: №0 от 30.06.2011 (рег. 21.12.2010) «Поправка к изменению»
№1 от 30.09.1984 (рег. 28.04.1984) «Срок действия продлен»
№2 от 01.01.1989 (рег. 03.11.1988) «Поправка»