Дата актуализации: 25.08.2020
ГОСТ 25662-83
Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные диффузионные. Методы испытаний
Статус документа: | действует |
Название рус.: | Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные диффузионные. Методы испытаний |
Название англ.: | Vacuum equipment. Diffusion vacuum pumps. Test methods |
Дата актуализации текста: | 06.04.2015 |
Дата актуализации описания: | 25.08.2020 |
Дата издания: | 01.06.1984 |
Дата введения: | 01.01.1984 |
Дата последнего изменения: | 01.01.2020 |
Переиздание: | переиздание с изм. 1 |
Область применения нормативного документа: | Настоящий стандарт распространяется на диффузионные вакуумные насосы с водяным охлаждением, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, предназначенные для откачивания из герметичных объемов воздуха, газов и парогазовых смесей, предварительно очищенных от капельной влаги и механических загрязнений и неагрессивных к материалам конструкций |
Список изменений в документе: | №0 от 30.06.2011 (рег. 21.12.2010) «Поправка к изменению» №1 от 30.09.1984 (рег. 28.04.1984) «Срок действия продлен» №2 от 01.01.1989 (рег. 03.11.1988) «Поправка» |